太阳能电池设备\单晶炉系列 太阳能电池片
作者:
中国实验电炉网
来源:
中国实验电炉网
发布日期:
2009-06-23 13:37:52.0
| 产品详细描述: |
1、开发设计过程借鉴了国外的先进设计模式,并进行了国产化吸收 ;
2、自动化程度高。除引晶、转肩外,其余10多个工艺过程全部实现自动控制;
3、节能。全数字控制的直流加热电源,采用5柱式变压器,比国内同类产品至少节能5%以上;
4、稳定。高精度高稳定性的籽晶、坩埚运行系统,为提高单晶成品率保驾护航;
5、氩气流量由质量流量控制器自动调节;
6、隔离阀采用旋阀结构,降低主机高度;
7、用IC级的要求来把握细节;
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| 主要指标: |
电源:3相380V±10%,50HZ
加热器最大加热功率:150KVA
加热器最高加热电压:60V
最高加热温度:1500℃
冷炉极限真空度:3Pa
晶体直径:φ6
熔料量:60Kg
主炉室尺寸:φ800×1120mm
阀通径:φ260mm
副炉室尺寸:φ260×2270mm
籽晶拉速范围:0~8.5mm/min
籽晶快速:500mm/min
籽晶转速范围:0~50R/min
坩埚升速范围:0~2mm/min
坩埚快速:200mm/min
坩埚转速范围:0~20R/min
籽晶提升有效行程:2600mm
坩埚升降有效行程:400mm
主机占地面积:2500mmX1500mm
主机最大高度:6200mm
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